ВЛИЯНИЕ γ-ОБЛУЧЕНИЯ НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК SmS
В.В.Каминский, Л.Н.Васильев, Е.Л.Горнушкина, С.М.Соловьев, Г.А.Сосова, Н.М.Володин
Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук,
194021, Санкт-Петербург, Россия
(Получена 7 июля 1994 г. Принята к печати 12 июля 1994 г.)
Исследовалось влияние γ-облучения источника 60Со мощностью экспозиционной дозы б • 105 Р/ч в интервале доз D = 106÷1.6 • 108 Р на электрические параметры поликристаллических полупроводниковых пленок моносульфида самария. Обнаруженная высокая радиационная стабильность удельного поверхностного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления может являться следствием специфики электронной структуры данного соединения и вместе с тем коррелирует с некоторыми свойствами пленок, характерными для радиационно-стойких полупроводников, такими как термическая прочность, мелкодисперсность, наличие значительного числа стехиометрических вакансий.
Полупроводниковые пленки моносульфида самария нашли применение для изготовления тензорезисторов [1]. В связи с этим представляет интерес исследование радиационной стойкости их электрических параметров. Электрические свойства SmS определяются главным образом наличием 4f-уровней ионов самария, которые имеют концентрацию 1.8 • 1022 см-3, располагаются в запрещенной зоне на 0.23 эВ ниже дна зоны проводимости и играют роль доноров....
Исследовалось влияние облучения на удельное поверхностное сопротивление ρ, температурный коэффициент сопротивления α — (1/ρ)(∂ρ/∂Т) и барический коэффициент сопротивления β — (1/ρ)(∂ρ/∂Р). Образцы с ρ ~ 102 Ом/,, α = (1÷2) • 10-3 К-1 и β ~ 10-3 МПа"1 облучались γ-квантами 60Со с мощностью экспозиционной дозы 6 • 105 Р/ч в интервале доз D — 106÷6 • 108 Р. Измерение параметров α, β, ρ проводилось при Т ~ 300 К после облучения различными дозами. Типичные результаты, полученные для одной из пленок, представлены на рисунке. Наиболее показательна зависимость ρ (D), отражающая высокую стабильность пленок SmS при γ -облучении...
Увеличение β можно объяснить исходя из предложенной в [6] модели электрпереноса в поликристаллических пленках SmS. Согласно модели, в электропереносе принимают участие два типа носителей: обычные зонные и ответственные за перескоковую проводимость. При этом перескоковая составляющая проводимости значительно менее зависима от деформации, чем зонная. Можно предположить, что под действием облучения происходит уменьшение доли перескоковой составляющей в электропереносе. В полупроводниковом SmS ионы самария обычно находятся в двухвалентном состоянии (в объемных образцах) [2]. В пленках SmS появляются ионы Sm3+, которые взывают появление перескоковой проводимости, и их количество увеличивается с уменьшением параметра кристаллической решетки [4]. В таком случае пленки с уменьшенным параметром решетки должны иметь малые и сильно зависящие от D значения β. Для проверки этого предположения были изготовлены пленки SmS с а = 5.85 Ǻ, где количество ионов Sm3+ заведомо велико (~ 20% согласно [4]). Пленки имели β = 0.5 • 10-4 МПа"1 и при γ-облучении дозой 1.5 • 108 Р величина β возрастала в 2 раза. Таким образом, можно считать, что при γ - облучении поликристаллических пленок SmS имеет место уменьшение количества ионов Sm3+.
Обнаруженная высокая радиационная стабильность электрических параметров поликристаллических пленок SmS может являться следствием не только специфики электронной структуры данного соединения. Пленки имеют несколько признаков, свойственных радиационноcтойким полупроводникам [7]: исследованные объекты являются термически стойкими (температура плавления SmS ~ 2300°С), мелкодисперсными (размеры кристаллитов в образцах ~ 300 А), имеют значительное число стехиометрических вакансий (~ 1020 см-3). Кроме того, высокая концентрация электронов проводимости в значительной мере сглаживает влияние радиационных дефектов на электронную зонную структуру SmS.....
ПОЛНЫЙ ТЕКСТ СТАТЬИ
|