Тензорезистор, сформированный на стеклянной, сапфировой или какой-либо другой подложке, может быть использован в режиме барорезистора для измерения импульсных и гидростатических давлений от 1 до 2×103 МПа в газообразных, жидких, сыпучих и пластичных средах при температурах от 4 до 700К. Характеристики чувствительного элемента таких датчиков следующие:
Чувствительность к давлению, (DR/R)/DР (1- 3) 10–3 МПа–1
Выходной сигнал без усиления на 1 В питания 0.25 - 0.75 мВ/МПа
Быстродействие 1 мкс
Минимальные размеры 1х0.5х0.1 мм
Рис. 1. Пленочный барорезиетор на основе SmS:
1 — диэлектрическая подложка; 2 — металлические контактные площадки; 3 — полупроводниковый тензочувствительный слой.
Мы предлагаем разработку SmS тензорезисторов, барорезисторов и датчиков давления под Ваши задачи с параметрами, указанными заказчиком, либо решение вашей технической задачи целиком(разработка приборов и последующее их промышленное производство).
Отправка в любую точку России. Дополнительная информация и консультации по тел. (812) 335-99-19 с 10 до 18 МСК.
|